การพัฒนาปั๊มสุญญากาศแบบสปัตเตอร์ไอออน (Sputter Ion Pump)

ปั๊มสุญญากาศแบบสปัตเตอร์ไอออน (Sputter Ion Pump) เป็นปั๊มที่เหมาะสำหรับงานที่ต้องการความเป็นสุญญากาศระดับสูงยิ่งยวด (Ultra High Vacuum : UHV) ที่ความดันประมาณ 10-8 torr-10-11 torr ปั๊มชนิดนี้ไม่มีชิ้นส่วนที่เคลื่อนที่จึงไม่มีการสั่นสะเทือน ดังนั้นจึงเหมาะสำหรับงานที่ต้องการความละเอียดและเที่ยงตรงสูง…